В требовательном мире производства полупроводников, где чистота и точность не подлежат обсуждению, каждый компонент имеет значение — особенно решения для герметизации . Вот где Перфторэластомеры (FFKM) выделяться как бесспорный чемпион.

Производство полупроводников сопряжено с экстремальными условиями: агрессивными плазменными средами, высокими температурами (часто превышающими 300°C) и воздействием сильнодействующих химикатов и травителей. Стандартные эластомеры, такие как FKM (Viton®) или силикон, могут деградировать, что приводит к образованию частиц, загрязнению оборудования и дорогостоящим незапланированным простоям.

Компания FFKM предлагает уникальный набор свойств, которые напрямую решают эти задачи:

Исключительная химическая стойкость: Его полностью фторированная структура обеспечивает практически универсальную устойчивость к агрессивным технологическим химикатам, плазме и агрессивным чистящим средствам, таким как O₃, HF и растворы SC-1/SC-2.

Сверхвысокая чистота: Компоненты FFKM обладают чрезвычайно низким содержанием извлекаемых металлов и ионных примесей, что предотвращает загрязнение, способное испортить чувствительные пластины.

Превосходная термостойкость: Он сохраняет эластичность и герметичность при постоянном воздействии высоких температур, в то время как другие эластомеры затвердевают и разрушаются.

Отличная устойчивость к плазме: FFKM, имеющий решающее значение для камер травления и осаждения, противостоит эрозии и «пылеобразованию», вызванным прямым воздействием плазмы, минимизируя образование частиц.

Основные области применения на заводе:

Химико-механическая полировка (ХМП): Уплотнения и диафрагмы, предназначенные для работы с абразивными суспензиями.

Камеры для травления и химического осаждения из газовой фазы (CVD): Важные уплотнительные кольца, прокладки и герметики в модулях обработки кремниевых пластин.

Обработка кремниевых пластин: Уплотнения в роботах, шлюзовых камерах и транспортных модулях.

Влажная обработка: Уплотнения для ванн и трубопроводов, по которым транспортируются сверхчистые кислоты и растворители.

Хотя FFKM требует больших первоначальных инвестиций, его ценность очевидна: он максимизирует время безотказной работы оборудования, защищает выход годной продукции и обеспечивает целостность процесса. В отрасли, где все большее значение приобретают технологические узлы и ужесточаются меры контроля загрязнения, FFKM — это не просто материал, а важнейший фактор, обеспечивающий развитие передового полупроводникового производства.