Перфторэфирный каучук (FFKM) представляет собой высокоэффективный герметизирующий материал, превосходные характеристики которого привели к его применению во всей системе производства полупроводниковых изделий. Уплотнение ФФКМ является одним из основных расходных материалов, необходимых для производства интегральных схем.

Основные ТТХ ФФКМ:

1) Физические свойства

ФФКМ имеет плотность 1,9-2,0 г/см³, его физико-механические свойства аналогичны свойствам фторкаучука, а сопротивление деформации при сжатии при высоких температурах выше, чем у фторкаучука.

2) Химическая стойкость

Подобно PTFE, FFKM не подвержен влиянию какой-либо среды, за исключением некоторых растворителей с высоким содержанием фторуглеродов, и устойчив к более чем 1600 химическим растворителям, таким как сильные кислоты, сильные основания, органические растворители, пар при сверхвысоких температурах, простые эфиры, кетоны, сложные эфиры, азотистые соединения. соединения, карбиды водорода, спирты, альдегиды, фураны и соединения аминов.

3) Он устойчив к высоким и низким температурам, его рабочая температура обычно составляет 260~290 ℃. Его можно периодически использовать при высоких температурах 316 ℃.

4) Устойчивость к высокотемпературному пару

5) Низкий выброс и осадки

6) Устойчивость к плазме, которая демонстрирует высокую чистоту и низкие характеристики осаждения в плазменной среде и может выдерживать воздействие плазмы в течение длительного времени.

Полупроводниковые приложения FFKM

В производстве полупроводников надежность эластомерных прокладок имеет решающее значение, а стоимость замены прокладок при прекращении производства чрезвычайно высока. Во избежание потенциальных рисков требования к чистоте и чистоте пломб очень строгие. В то же время уплотнения должны быть способны работать под давлением высокого вакуума и агрессивных химических газов, а также в высокотемпературных средах в течение длительного времени.

FFKM является дорогостоящим сырьем и часто используется для жестких требований к уплотнению, которым не могут соответствовать другие каучуки, например, в производстве полупроводников. FFKM устойчив к плазменной коррозии, газовой коррозии, кислотной и щелочной коррозии, высокотемпературной коррозии и предъявляет высокие требования к чистоте резиновых уплотнений , помогая поддерживать целостность уплотнения, сокращая время обслуживания и повышая безопасность. Это лучший уплотнительный материал для производства полупроводников.