По мере того, как производство полупроводников переходит к более сложным процессам, условия эксплуатации становятся чрезвычайно сложными: высокие температуры, агрессивная плазма, едкие химические газы и строгие требования к чистоте — всё это предъявляет серьёзные требования к уплотнительным материалам. Компания JST выпустила серию Kalfluo®. герметизирующие растворы на основе перфторэластомера (FFKM) , нацеленная на соответствие высоким стандартам производительности и надежности, присущим ведущим международным брендам.

Почему FFKM — неизбежный выбор для Герметизация полупроводников ?

FFKM представляет собой эластомерный материал высочайшего класса. Полностью фторированная молекулярная структура обеспечивает ему непревзойденные свойства:

• Исключительная химическая стойкость: выдерживает воздействие практически всех химических сред, включая сильные кислоты, щелочи, растворители и различные полярные вещества, показывая исключительно хорошие результаты в процессах влажного травления и очистки.
• Исключительная стойкость к высоким температурам: наша серия Kalfluo® эффективно работает при температуре от -10 °C до 300 °C. Например, наша марка 8520 сохраняет герметичность при длительном воздействии сверхвысоких температур, таких как LPCVD и эпитаксиальные печи.
• Низкое газовыделение и выбросы: сводит к минимуму летучие выбросы в условиях высокотемпературного вакуума, предотвращая загрязнение технологической камеры и обеспечивая чистоту осаждения тонких пленок и обработки пластин.
• Превосходная стойкость к плазменной эрозии: эффективно противостоит плазменной бомбардировке в таких процессах, как сухое травление и PECVD, уменьшая такие проблемы с поверхностью, как порошкообразование, трекинг и растрескивание, продлевая срок службы.
• Низкая остаточная деформация при сжатии: сохраняет превосходную эластичность и восстановление даже при длительном воздействии тепла и давления, обеспечивая прочную и надежную герметизацию.

Уплотнения JST обеспечивает не только стандартные Уплотнения FFKM Но также мы предлагаем комплексную поддержку — от выбора материалов, проектирования конструкции и конечноэлементного анализа до производства в чистых помещениях класса 10000. Мы гарантируем, что каждое изделие соответствует высочайшим требованиям полупроводниковой промышленности к надежности и чистоте.