JST KALFLUO 8520 — это разновидность FFKM - материала, специально отвержденного для применения с очень высокими эксплуатационными характеристиками, обладающего высокой чистотой, хорошей химической стойкостью и термостабильностью. Он в основном используется в производстве полупроводников и является идеальным герметизирующим материалом для большинства сухих ( плазменное травление, PECVD, LPCVD, CVD металла, PVD, ALD, плазменная очистка) и влажных полупроводниковых процессов (очистка пластин, удаление полимера, влажное травление, полировка).

Подходит для применения при температурах от –10°C до 300°C.

Физические свойства KALFLUO 8520:

Характеристики водостойкости KALFLLUO 8520:

Обнаружение металлических элементов (погружение в растворитель) Kalfluo 8520:

Обнаружение осадков металлических элементов в воде UPDI с сопротивлением 18 МОм при 80 ℃ в течение 720 часов, частей на миллиард (частей на миллиард, мкг/л) ICP-MS-MS)

Результат испытаний:

Примечания: 1- Предельное значение обнаружения: 1ppb; 2- НД=Не обнаружено.