The полупроводниковая промышленность требует точности, надежности и среды без загрязнений для обеспечения безупречных производственных процессов. В основе этой миссии лежат специализированные уплотнительные решения, способные выдерживать экстремальные условия. Уплотнительные кольца FFKM (перфторэластомер) стали золотым стандартом для критически важных приложений в производстве полупроводников, демонстрируя непревзойденную устойчивость к агрессивным химикатам, воздействию плазмы и сверхвысоким температурам.

Почему FFKM превосходит традиционные материалы в полупроводниковых приложениях

Уплотнительные кольца из перфторэластомера (FFKM) имеют связи углерод-фтор, что делает их одними из самых термически стабильных, окислительно-устойчивых и химически стабильных фторированных полимеров.

Для таких процессов, как плазменное травление, химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и очистка пластин, Уплотнения FFKM сохраняют целостность там, где другие материалы разрушаются, предотвращая образование дорогостоящих частиц или незапланированные простои.

JST разработала уплотнительные изделия FFKM KALFLUO® для удовлетворения постоянно растущих потребностей производителей и пользователей оборудования в полупроводниковой, нефтехимической, приборостроительной, энергетической, биофармацевтической, пищевой и медицинской промышленности.